Fırın içerisindeki parçalar işlemin her kademesinde şarj termokuplları ile kontrol altında tutulur. Kademeli olarak yapılan ön ısıtma ile parçaların homojen bir şekilde ısınmaları sağlanır.

Vakum fırınlarında işlem gören parçalarda daha az deformasyon, iyi ölçüsel hassasiyet ve parlak temiz yüzeyler elde edilir.